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RenishawXL80系列激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s的测量速度和50 kHz记录速率。即使在的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工... ...